產(chǎn)品名稱

GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

GSL-1800X-ZF4

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、工作臺：落地式， 占地面積 2m2 以上。

4、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。

2、采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔體設(shè)有 1 個 KF40 旁抽閥（直接與前級機(jī)械泵相連，提高效率）、 1 個 CF150 閘板閥

（直接與分子泵相連） 、1 個 KF16 法蘭（安裝電阻規(guī)） 、6 個 CF35 法蘭（ 1 個安裝電離規(guī)， 1 個安裝 2 芯電極， 1 個安裝膜厚儀）

3 個備用。

4、在腔體底部配有 5 個水冷電極， 可支持 4 個蒸鍍加熱舟。

5、樣品臺安裝在腔體的頂部。

6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀， 膜厚測量分辨率（鋁） 為0.1?。

7、可使用循環(huán)水冷機(jī)。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入： 單相 AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW （不含真空泵）

2、蒸發(fā)輸出： 電壓 AC 0-8V 連續(xù)可調(diào)，極限蒸發(fā)電流 200A，極限蒸發(fā)功率<1.6KW

3、真空腔： ?300mm （內(nèi)徑）× 400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理

4、觀察窗： ?100mm，采用專用密封圈密封

5、真空泵：高抽速渦輪分子泵， 抽速600L/s

6、真空度： 8.0x10-4Pa

7、極限真空 8.0x10-5Pa

8、漏率： 6.7×10-8Pa ·L/S

9、樣品臺：φ 120

10、蒸發(fā)舟與樣品臺間距： 150-210mm

11、冷卻水需量： 15L/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 900mm×1100mm×1800mm；重量： 230kg