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產品簡介： 精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室 CVD 實驗中導入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過數字液體泵 來控制， 流量為 80ml/min ，精確度為 0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統(tǒng)后，被系統(tǒng)里的加熱裝
置加熱成蒸汽， 然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體， 如 ETOH 、SnCl4 、 TiCl4R、
SiHCl3 和 Zn（C2H5）2，以及多種有機物混合。對于研究用 CVD 方法生長納米線和薄膜是的研究設備。
產品型號 | 精密液體氣相發(fā)生器 |
主要特點 | 1 、流體和氣體在一個 316 不銹鋼罐中加熱。 |
2 、采用 30 段程序化控溫。 3 、氣體流速通過浮子流量計控制。 4 、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強。 5 、配有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體進出。 6 、可與本司所有管式爐和 CVD 系統(tǒng)相連接。 | |
7 、已通過 CE 認證。 | |
技術參數 | 1 、電源： 單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率： 1000W 3、蠕動泵：精確度±0.02%FS ，流量 0-80ml/min （可調） 4、工作溫度： 300℃ |
5 、控溫精度：±1℃ 6、浮子流量計： 0-2000ml/min （可調） 7、出氣口： 外徑 1/4″ | |
產品規(guī)格 | 尺寸： 350mm×335mm×300mm；重量： 5kg |
可選配件 | 加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。）
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